详细介绍
国产质量流量控制器(Mass Flow Controller)是基于业内的微机电(MEMS)流量传感器芯片,结合高速采样处理技术和数字补偿算法,所开发的一款智能化、高精度的气体质量流量控制器产品。该产品配备有进口电磁比例阀、316L不锈钢气路座、高精度微机电流量芯片等,具有精度高、响应速度快、稳定性好等特点。
国产质量流量控制器产品应用于:半导体加工、分析和环保、燃烧控制器、真空技术、表面处理、食品和制药、化工(石化)等过程控制
产品特点:温度和压力不敏感
高精度及优越的零点稳定性
超快的响应速度及稳定时间
良好的重复性和再现性
宽电压输入,多种信号输出方式
采用液晶触控显示和便捷控制
配备进口比例电磁阀
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